Libra谐振微悬臂梁芯片
基本款MEMS谐振式微悬臂梁传感芯片，具备微小质量称重功能。硅材质，谐振频率100kHz左右，质量检测分辨率达到0.5pg。
Phoenix谐振微悬臂梁芯片
升级款MEMS谐振式微悬臂梁传感芯片，同时具备称重功能和片上微区加热功能。硅材质，谐振频率45kHz左右，片上最高加热温度1000℃，质量检测分辨率优于1pg。
