Libra谐振式微悬臂梁芯片
RMC-Libra
Libra谐振式微悬臂梁传感芯片，是利用谐振式微悬臂梁的谐振频率变化与质量变化之间的定量关系来测量微小质量的工具，具有灵敏度高、体积小、成本低、可集成等优点，通过与不同敏感材料搭配，可制备多种多样高灵敏的质量型气敏传感器，同时也可用于热力学/动力学参数的测量。
该芯片是微悬臂梁气敏测试系统和界面热力学/动力学参数分析仪的核心器件。
产品特点
- 高灵敏度：质量检测灵敏度优于1.5 pg/Hz*，搭配自主研发的软件锁相环电路，可实现低至0.5 pg的超高质量分辨率
- 系统结构简单：片上集成电热驱动、压阻检测元件，搭配接口电路即可实现闭环检测，无外置设备
- 点样便捷：片上敏感区域亲水，其余部分疏水，便于气敏材料精准上载
- 微小尺寸：芯片尺寸低至1.5 mm x 1 mm
技术参数
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指标名称 |
参数 |
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型号 |
RMC-Libra |
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基底材料 |
单晶硅 |
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尺寸 |
1.5 mm x 1 mm |
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谐振频率（25℃） |
95.0±5 kHz |
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谐振频率噪声（25℃，氮气下） |
±0.1 Hz以下 |
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质量灵敏度 |
1.0 Hz/pg ± 10% |
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功耗 |
≤25 mW |
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使用温度 |
-40℃ ~ +120℃ |
应用领域
应用实例
