微芯片点样仪
微芯片点样仪,是一款操作简单、高灵活性的微芯片点样系统。整个点样过程可视化操作,特别适用于微悬臂梁、微加热盘等MEMS微芯片的微区域点样。
真空检测室
真空检测室为谐振式微悬臂梁芯片提供密闭检测环境。316不锈钢/铝合金材质;具备3个气体出入口,可实现高真空;最高提供24 pin电连接;具备石英光学窗口,可与光学仪器联用。
微型检测室
微型检测室,专为气敏测试开发,具有死体积小、耐腐蚀的特点。PTFE材质;2个气体出入口;可抽真空;12pin电连接;具备石英光学窗口,可与光学仪器联用。