微型检测室
微型检测室,主要用于微悬臂梁芯片的气敏测试。具有2个气体接口,用于连接进出气管道;12 pin电连接,用于连接微悬臂梁;超微小死体积设计,更适用于气敏测试;石英玻璃光学窗口,可以对其内的微悬臂梁进行光学观测;PTFE材质,耐腐蚀。