真空检测室，作为安装微芯片的密封容器，用于为微芯片提供各类测试环境。具有3个气体接口，用于连接进出气管道和真空泵；最高24 pin电连接，用来与安装在内的微芯片进行通讯；高真空度等级，真空度可达10-4 Pa；石英玻璃光学窗口，可以对其内的微芯片进行光学观测；316不锈钢或者铝合金材质，可按需选择。