LoC-GDS 4000
指标名称 |
参数 |
型号 |
LoC-GDS 4000 |
流量控制 |
高精度MFC |
精度 |
±1% F. S. |
气路 |
3进口,2出口(可定制) |
混气 |
2路混气(可定制) |
流量 |
0 ~ 200 sccm(可定制) |
耐腐蚀性 |
耐腐蚀,管路可选316不锈钢或PTFE |
额定功率 |
20W |
主机尺寸(宽x深x高, cm) |
25 x 30 x 17 |